프로그램 / 행사

 

 

 

제 28회 국제 반도체장비재료 전시회인SEMICON Korea 2015와 병행하여 개최되는 SEMI 기술심포지움(이하 STS)에서 발표될 논문을 모집합니다. 본 심포지움은국내외 소자업체, 반도체 장비 및 재료 업체의 기술전무가, 학계 전문가들 그리고 학생들이한자리에 모여 반도체 생산 공정의 최신 기술을 소개하고 앞으로의 기술 동향 및 정보 교환을 그 취지로 하고 있습니다.

 

소자업체, 장비 및 재료 업체에 종사하는 기술 실무진과 관련 분야에있는 학계 분이라면 누구든 참여하실 수 있습니다. 논문 초록의 접수 후 10월 말까지 각 분과의 위원들의 심사를 거쳐 발표여부가 결정이 되며 그 이후에는 일정에 맞추어 논문과 발표자료를 제출하시면 됩니다.

 

매년 STS에서는 한국 및 전세계 향후 반도체 기술의 방향을 제시하고, 반도체 산업 현황 및 발전 가능성에관하여 심도 깊은 논의가 이루어져 왔습니다. 논문발표 기회와 더불어 세계 반도체 전문가와 교류하는SEMI 기술심포지움에 반도체 전문가 분들의 많은 참여를 부탁드립니다.

 

모집하고있는 논문의 분야는 하기와 같습니다. 

 

 

S1. Advanced Lithography

  • - Resist Processes andMaterials
  • - Photomask Processes andMaterials
  • - Lithography Simulation(Wafer/Mask Processes), OPC and Designfor Manufacturing
  • - Multiple Exposure andDouble Patterning Techniques
  • - Advanced MetrologyTechnology for Wafer and Mask
  • - Extreme UltravioletLithography
  • - Directed Self Assembly
  • - Alternative Lithography(Nano-Imprint and others)
  • - Application ofLithography to Nanotechnology 

 

S2. Advanced Process Technology: Dielectrics, Metals, and Other Materials 

  • - Advanced GapfillTechnology
  • - Interconnection (Cu, Al, W Barrier Metal, Gate Electrode,Salicidation, Optical Interconnection)
  • - Dielectric (high k, lowk, Gate Dielectric, Ferroelectric, Passivation)
  • - Doping & Heat Treatment Process (I2p, Plasma Doping, GILD, SADS, RTP,Furnace, Damage Control)
  • - Epitaxial Growth(Blanket, Selective, Device Integration)
  • - SOI Materials &Processes (Wafer Manufacturing, Device Manufacturing)
  • - Materials and Process for Non Volatile MemoryDevices (PCRAM, STT-RAM, ReRAM, PoRAM, etc)
  • - Nano Process Technology(Quantum Dot/Nanowire/Layer Formation)
  • - 2D Materials (Graphene,Sulfide, and etc.) 

 

S3. Device Technology

  • - SoCTechnology
  • - Advanced CMOSTechnology
  • - AdvancedMemory Technology
  • - SOI Devices
  • - RF Devices
  • - Nano-scaleDevices
  • - Thin FilmDevices
  • - InterconnectionTechnology
  • - AdvancedJunction/Doping Technology
  • - Process/Device/InterconnectionModeling
  • - Device/InterconnectionReliability
  • - OrganicDevices (OLED/Organic TFT)
  • - Advanced Display Device Technology 

 

S4. Plasma Science and Etching Technology

  • - Atomic Layer Etching(ALE)and Low Damage Etching(LDE)
  • - Etch Process related toFEOL and BEOL
  • - HARC & HART EtchTechnology
  • - Organic Material Etchingfor DSA, DPT, etc.
  • - New & Novel MaterialEtch (MRAM, New Mask, New Material, ReRAM, etc.)
  • - New Plasma Source and NewUnit Technologies (Pulsing, Fast MFC, Low-temp Chiller, TMP, etc.)
  • - Plasma & ProcessDiagnostics, Sensors, and Control
  • - Tool to Tool Matching(TTTM) Technologies
  • - Simulation and Modelingfor Plasma Source and Process 

 

S5. Contamination-Free Manufacturing and CMP Technology

  • - Advanced Wet/Dry SurfacePreparation in FEOL/BEOL
  • - Micro-,Nano-contamination Control
  • - Damage/Loss Free NanoParticle Removal
  • - Yield EnhancementTechnology
  • - Environmentally BenignManufacturing/PFC Emission Reduction
  • - Advanced Wet/ DryCleaning for 3D Structure and New Materials
  • - Advances in CMP, RelatedProcesses and Equipment
  • - CMP Consumables andMetrology
  • - ScratchReduction/Mechanism
  • - CMP Modeling andSimulation
  • - Post CMP Cleaning 

 

S6. Electropackage System and Interconnect Product

  • - Trend in Wearable Devices
  • - Flexible Device, Battery, Display Technology
  • - Low Power IC Design
  • - Ultra Small Form-factor Packaging
  • - Packaging for Sensors
  • - Substrate Technology for Flexible Integration
  • - Housing and Bands
  • - Thermal Managements
  • - Reliability in Flexible Interconnects 

S7. Advanced Metrology and Inspection

  • - Critical Dimension Metrologies
  • - Process Control and Characterization
  • - Defect Detection, Analysis and Control
  • - Measurement System Modeling and Simulation
  • - Overlay Related Metrologies
  • - Mask Related Metrologies 

Submit an Abstract

논문 모집에 참여하시려면 옆의 링크를 클릭하여 주십시오. STS 2015 Call for Papers

본 논문 모집의 마감일은 2014년 9월 30일이며 논문 심사의 결과는 2014년 10월 31일까지 통보될 예정입니다.

Guidelines

- 500자 내외의 초록과 100자 내외의 바이오그래피 제출

- 발표제목/초록이 정확하여야 하며 논문 내용은 상업적인 회사/기술 홍보를 배제한 기술적이고 전문적인 부분을 중심으로 구성되어 있어야 발표 가능

 

Important Dates

Abstracts Due

9월 30일

Author Notification

10월 31일

Speaker Letter of Agreement Due

11월 14일

Paper/ PowerPoint Presentation Due

12월 19일

Presentation

세션에 따라 상이하나 2014년 2월 4일 혹은 5일

 

 

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이주희 과장 (julee@semi.org, 02-531-7806)